利用者資格

装置について熟知しており操作出来る者

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• XPS:X-ray　Photoelectron Spectroscopy
  X線を物質に照射すると、物質から光電子が放出される。光電子をエネルギー分光する事で表面分析および化学結合状態分析に利用して試料極表面の分析を行う。
  ESCA（Electron Spectroscopy for Chemical Analysis）とよばれることもあります。
• 特徴：
  高速イオン銃（XP-HSIG3）を標準装備しており、XPS測定とイオン銃によるエッチングを交互に行う事により、試料の深さ方向の分析が可能。エッチング速度：3～100nm/min（SiO2換算）
• 仕様
  • 加速電圧：150～1000 V（連続可変）
  • エミッション電流：0～50mA
  • イオンビーム径：約10～15mmΦ

アクセス

X203室