電子線マイクロアナライザー(EPMA)

管理者

田湯 善章(しくみ解明系領域)
内線:5641

利用者申込先

川村 悟史(技術部)
内線:5624

利用者資格

管理者から講習を受けた者、熟練者の指導の下での利用
※条件付きで学外の方も利用できます

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ある元素に電子線が照射されると、そこから特徴的な波長のX線(特性X線)が発生します。この特性X線を測定することにより、試料に何が含まれているか(定性分析)、どの部分にどの元素が存在しているか(線分析、面分析)を測定します。

本装置は、エネルギー分散型分光器(EDS)と5器の波長分散型分光器(WDS)の両方を備えており、B~Uまでの複数元素を同時に測定することが可能です。

アクセス

機器分析センター 2F