利用者資格

超高真空装置およびSEMに関する十分な知識を有する者
※条件付きで学外の方も利用できます

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タングステンエミッターとコンパクトな鏡筒からなる使い易いSEMですが、差動排気を備え30Pa程度の低真空での観察、大型ステージの採用による8インチ試料までの観察、加えてEDS分析が行えるといった優れた機能を有します。

アクセス

機器分析センター 1F