利用者資格

超高真空装置およびSEMに関する十分な知識を有する者
※条件付きで学外の方も利用できます

コメント

サーマル電界放射型のFE-SEMであり、コールドタイプに比べて分解能はやや劣るが、その分放射の安定性とビーム電流は抜群に優れている。このため、付属するEBSD（電子後方散乱解析装置）およびEDS（エネルギー分散型X線分析装置）の性能を100％引き出すことができる。分解能は劣るとはいっても、FEはFE。大雑把な言い方として「30万倍程度」までの観察であれば遜色のない性能を示す。二次電子像および反射電子像の観察が可能。

アクセス

機器分析センター 1F