授業情報/Course information

開講学期/Course Start 2017年度/Academic Year 後期/Second 第3クォーター/3rd Quarter
開講曜限/Class period 木 /Thu  7 , 木 /Thu  8 , 木 /Thu  9 , 木 /Thu  10
授業区分/Regular or Intensive 週間授業
対象学科/Department 情報電子工学系専攻電子デバイス計測コース
対象学年/Year 1年,2年
授業科目区分/Category 博士前期課程 大学院自専攻科目
必修・選択/Mandatory or Elective 選択
授業方法/Lecture or Seminar 講義
授業科目名/Course Title 半導体集積回路特論
単位数/Number of Credits 2.0
担当教員名/Lecturer 福田  永(情報電子工学系学科電気電子工学コース)
時間割コード/Registration Code MQ306
連絡先/Contact 福田 永(Y-707
0143-46-5549
fukuda@mmm.muroran-it.ac.jp)
オフィスアワー/Office hours 福田 永(別に学科Web等で掲示する )
更新日/Date of renewal 2017/09/21
授業のねらい
/Learning Objectives
半導体集積回路の製造工程と動作原理が理解できる。This subject is designed to understand the manifacturing of large scale integratedcircuites and device operation.
到達度目標
/Outcomes Measured By:
最先端のデバイスの動作原理が理解できる。
The goal of this subject is to understand the operation of fuly advanced electronic devices.
授業計画
/Course Schedule
第1週 集積回路のあらまし Outline of integrated circuits
第2週 結晶成長と加工(1) Crystal growth and machining(1)
第3週 結晶成長と加工(2) Crystal growth and machining (2)
第4週 酸化膜と窒化膜成長 Oxide and nitride film growth
第5週 堆積膜成長 Thin film deposition
第6週 不純物導入技術(1) Impurity implantation technology (1)
第7週 不純物導入技術(2) Impurity impalntation technoogy (2)
第8週 リソグラフィ技術 Lithgraphy technology
第9週 エッチング技術 Etching technology
第10週 メタライゼーション技術(1) Metallization technology (1)
第11週 メタライゼーション技術(2) Metallization technology (2)
第12週 集積化技術 Integration technology
第13週 ディスプレイ技術 Display technology
第14週 最近の話題 Recent topics
第15週 まとめ Summary
教科書・参考書に関する備考 [教科書]
各授業ごと資料を配布する。No text book. The stuff for presentation is delivered in every class.
[参考書]
谷口研二他共著半導体デバイスシリーズ3プロセスインテグレーション(丸善)5700円
K.Taniguchi et al. Semiconductor device series 3 Process integration.
成績評価方法
/Grading Guidelines
レポートで評価し、100点満点とする。60点以上を合格とする。The score of eace student is evaluated by reportes (100%) A grade of more than 60% is acccepted for credit.
学習・教育目標との対応
/Learning and Educational Policy
(1)分析・解決能力 Analysis and Solution.
備考
/Notes
この授業は日本語で行う。 This subject will be taught in Japanese.
No. 回(日時)
/Time (date and time)
主題と位置付け(担当)
/Subjects and instructor's position
学習方法と内容
/Methods and contents
備考
/Notes
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