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| 科目一覧へ戻る | 2015/09/30 現在 |
| 開講学期／Course Start | 2015年度 後期 |
|---|---|
| 開講曜限／Class period | 火曜日3・4時限 |
| 授業区分／Regular or Intensive | 週間授業 |
| 対象学科／Department | 情報電子 |
| 対象学年／Year | 1 |
| 授業科目区分／Category | 博士前期課程 大学院自専攻科目 |
| 必修・選択／Mandatory or Elective | 選択 |
| 授業方法／Lecture or Seminar | 講義 |
| 授業科目名／Course Title | プラズマ工学特論 電気通信システム |
| 単位数／Number of Credits | 2 |
| 担当教員名／Lecturer | 植杉克弘 (Katsuhiro Uesugi) |
| 時間割コード／Registration Code | MQ302 |
| 連絡先／Contact | 植杉克弘(Y701室，TEL:0143-46-5546，E-mail:uesugi＠mmm.muroran-it.ac.jp) |
| オフィスアワー／Office hours | 植杉克弘(月曜日 12:00～13:30，水曜日 12:00～13:30) |
| 更新日／Date of renewal | 2015/08/21 |
|---|---|
| 授業のねらい ／Learning Objectives |
プラズマプロセスは電子機器で用いられている集積回路を作製ために必要不可欠な技術である．この授業では,化学的に高い反応性をもつプラズマ放電の基本的な原理と,そのマイクロエレクトロニクスへの応用について学ぶ． Plasma processes are indispensable for manufacturing the integrated circuits used by the electronic equipment. This course will provide the fundamental principles of chemical reactive plasma discharges and applications in microelectronics. The fundamental physical and chemical properties of plasma and thin-film processing such as surface etching and deposition will be studied. |
| 到達度目標 ／Outcomes Measured By: |
Understandings of fundamental principles of partially ionized plasma discharges, typical plasma sources used by the electronics industry, and applications in microelectronics. |
| 授業計画 ／Course Schedule |
Total number of class hours: 22.5 h Course plan: 1. Introduction 2. Plasma fundamentals 3-5. Basic plasma equations and equilibrium 6-8. Atomic collisions 9-10. Plasma dynamics 11-12. Etching 13-14. Deposition and implantation 15. Applications in microelectronics |
| 参考書等 ／Required Materials |
Principles of plasma discharges and materials processing Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg Wiley-Interscience 2005(ISBN:9780471720010)
Lecture notes on principles of plasma processing Francis F. Chen and Jane P. Chang Kluwer Academic/Plenum Publishers 2002(ISBN:9780306474972) |
| 教科書・参考書に関する備考 |
[教科書] No text book. Relevant materials will be provided. [参考書] [備 考] |
| 成績評価方法 ／Grading Guidelines |
The score of each student is evaluated by presentations (50%) and reports (50%). A grade of more than 60 is accepted for a credit. |
| 学習・教育目標との対応 ／Learning and Educational Policy |
This class corresponds to the learning of specialized knowledge pertaining to electrical-energy techniques. |
| 備考 ／Notes |
This subject will be taught in Japanese and partially in English. |
| No. | 回（日時） ／Time (date and time) |
主題と位置付け（担当） ／Subjects and instructor's position |
学習方法と内容 ／Methods and contents |
備考 ／Notes |
|---|---|---|---|---|
| 該当するデータはありません | ||||