開講学期 Course Start	2014年度 後期
授業区分 Regular or Intensive	週間授業
対象学科 Department	情報電子工学系専攻
対象学年 Year	1
必修・選択 Mandatory or Elective	選択
授業方法 Lecture or Seminar	講義 Lecture
授業科目名 Course Title	半導体集積回路特論
授業科目名(英語) Course Title	[授業科目名(英語)]
単位数 Number of Credits	2
担当教員 Lecturer	福田　永
教員室番号 Office	Y707
連絡先(Tel) Telephone	0143-46-5549
連絡先(E-mail) E-mail	fukuda@mmm.muroran-it.ac.jp
オフィスアワー Office Hour	月曜日13:00~15:00 Monday 13:00~15:00 水曜日13:00~15:00 Wednesday 13:00~15:00
授業のねらい Learning Objectives	半導体集積回路の製造工程と動作原理が理解できる This subject is designed to understand the manifacturing of large scale integrated circuits and device operation.
到達度目標 Outcomes Measured By:	最先端のデバイスの動作原理が理解できる The goal of this subject is to undestand the operation of fuly advanced electronic devices
授業計画 Course Schedule	第１週　集積回路のあらまし Outline of integrated circuits 第２週　結晶成長と加工(1) Crystal growth and machining(1) 第３週　結晶成長と加工(2) Crystal growth and machining (2) 第４週　酸化膜と窒化膜成長 Oxide and nitride film growth 第５週　堆積膜成長 Thin film deposition 第６週　不純物導入技術(1) Impurity implantation technology (1) 第７週　不純物導入技術(2) Impurity impalntation technoogy (2) 第８週　リソグラフィ技術 Lithgraphy technology 第９週　エッチング技術 Etching technology 第１０週　メタライゼーション技術(1) Metallization technology (1) 第１１週　メタライゼーション技術(2) Metallization technology (2) 第１２週　集積化技術 Integration technology 第１３週　ディスプレイ技術　Display technology 第１４週　最近の話題 Recent topics 第１５週　まとめ Summary
教科書 Required Text	各授業ごと資料を配布する。No text book. The stuff for presentation is delivered in every class.
参考書 Required Materials	谷口研二他半導体デバイスシリーズ３プロセスインテグレーション(丸善）￥５，７００ K. Taniguchi et al. : Semiconductor device series 3 Procee integration
教科書・参考書に関する備考
成績評価方法 Grading Guidelines	レポートで評価し、１００点満点とする。 60点以上を合格とする。The score of each student is evaluated by reportes (100%)　A grade of more than 60 is accepted for credit.
履修上の注意 Please Note
教員メッセージ Message from Lecturer
学習・教育目標との対応 Learning and Educational Policy	(1)分析・解決能力　Aanlysis and Solution
関連科目 Associated Courses
備考 Remarks	この授業は日本語で行う　This subject will be taught in Japanese.