開講学期
Course Start
2009年度 後期
授業区分
Regular or Intensive
週間授業
対象学科
Department
情報電子工学系専攻
対象学年
Year
1
必修・選択
Mondatory or Elective
選択
授業方法
Lecture or Seminar
講義
授業科目名
Course Title
半導体工学特論
単位数
Number of Credits
2
担当教員
Lecturer
福田 永
教員室番号
Office
Y-707
連絡先(Tel)
Telephone
0143-46-5549
連絡先(E-mail)
E-mail
fukuda@mmm.muroran-it.ac.jp
オフィスアワー
Office Hour
水曜日13:00〜15:00
木曜日13:00〜15:00
授業のねらい
Learning Objectives
半導体の基礎物性とそれを利用した電子デバイスの動作原理および集積化技術について習得する。
到達度目標
Outcomes Measured By:
1.半導体に関する基本的な概念および電子デバイスの動作原理を理解できる。
2.各種デバイスを集積化する技術を理解できる。
授業計画
Course Schedule
 1週目 集積回路のあらまし
 2週目 結晶成長と加工(1)
 3週目 結晶成長と加工(2)
 4週目 酸化膜成長
 5週目 堆積膜形成
 6週目 不純物導入技術(1)
 7週目 不純物導入技術(2)
 8週目 リソグラフィ技術
 9週目 エッチング技術
10週目 メタライゼーション技術(1)
11週目 メタライゼーション技術(2)
12週目 集積化技術
13週目 ディスプレイ技術
14週目 最近の話題
15週目 まとめ


















教科書
Required Text
特に指定しない。資料を毎回配布する。
参考書
Required Materials
S. M. Sze著「半導体デバイス〜基礎理論とプロセス技術〜」産業図書(図書館に所蔵あり) 
教科書・参考書に関する備考
成績評価方法
Grading Guidelines
レポートまたは小テストにより評価し、100点満点の60点以上を合格とする。
履修上の注意
Please Note
電子デバイス工学特論を履修していることが望ましい。
教員メッセージ
Message from Lecturer
学習・教育目標との対応
Learning and Educational
Policy
関連科目
Associated Courses
備考
Remarks