開講学期	2008年度 後期
授業区分	週間授業
対象学科	電気電子工学専攻
対象学年	1
必修・選択	選択
授業方法	講義
授業科目名	半導体工学特論
単位数	2
担当教員	福田 永
教員室番号	Y-707
連絡先(Tel)	0143-46-5549
連絡先(E-mail)	fukuda@mmm.muroran-it.ac.jp
オフィスアワー	水曜日13:00〜15:00 木曜日13:00〜15:00
授業のねらい	半導体の基礎物性とそれを利用した電子デバイスの動作原理および集積化技術について習得する。
到達度目標	１．半導体に関する基本的な概念および電子デバイスの動作原理を理解できる。 ２．各種デバイスを集積化する技術を理解できる。
授業計画	１週目　集積回路のあらまし 　２週目　結晶成長と加工（１） 　３週目　結晶成長と加工（２） 　４週目　酸化膜成長 　５週目　堆積膜形成 　６週目　不純物導入技術（１） 　７週目　不純物導入技術（２） 　８週目　リソグラフィ技術 　９週目　エッチング技術 １０週目　メタライゼーション技術（１） １１週目　メタライゼーション技術（２） １２週目　集積化技術 １３週目　ディスプレイ技術 １４週目　最近の話題 １５週目　まとめ
教科書及び教材	特に指定しない。資料を毎回配布する。
参考書	S. M. Sze著「半導体デバイス〜基礎理論とプロセス技術〜」産業図書（図書館に所蔵あり）
成績評価方法	レポートまたは小テストにより評価し、１００点満点の６０点以上を合格とする。
履修上の注意	電子デバイス工学特論を履修していることが望ましい。
教員メッセージ
学習・教育目標との対応
関連科目
備考